|

Математическое моделирование процесса получения тройных полупроводниковых материалов методом жидкофазовой эпитаксии

Авторы: Мажорова О.С., Попов Ю.П. Опубликовано: 24.01.2015
Опубликовано в выпуске: #2(5)/2000  
DOI:

 
Раздел: Прикладная математика; методы математического моделирования  
Ключевые слова:

Приведено описание математической модели и результаты численного исследования процесса получения полупроводниковых структур методом жидкофазовой эпитаксии.