| 
Ковальчук А.В. 
Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук (ИПТМ РАН)
Черноголовка, Московская область, Россия
Анатолий Викторович Ковальчук родился в 1961г., окончил в 1988 г. Московский физико-технический институт. Старший научный сотрудник ИПТМ РАН. Автор 42 научных работ в области физики плазмы и фотохимии.
Все статьи автора